トップページ取扱製品
  
 
ドライエッチング廃ガス処理装置

 
半導体製造のドライエッチング工程において毒性ガス、環境に悪影響のあるガスが排出されます。これらのガスを安全でクリーンなガスとして排出できる処理装置を提供します。
 
 
 

除害装置の種類

 
① 酸性ガス除害装置

【 対 象 】
 メタルエッチングに使用される酸性系ガスの処理
 Cl2、BCl3、HCl、HBr など

 除害筒(乾式充填剤)を内蔵した酸性ガス除害装置。
 内蔵する除害筒は1本の1筒式除害装置と2本の2筒式除害装置があります。
 共に制御はタッチパネルから行い、装置の設定、警報等幅広く制御が可能です。
 
 
 
② PFC・PFN 除害装置

【 対 象 】
 酸化膜生成などのフッ素系ガスの処理
 CF4、SiF4、SF6、CHF3、NF3 など

 反応器を内蔵したPFC、PFN除害装置。
 1筒式と2筒式があり、最大で240ℓ/minの廃ガスの処理が可能です。
 制御はタッチパネルから行い、装置の設定、警報等幅広く制御が可能です。
 600℃の低温で99%以上の高分解率を実現しており、触媒式、燃焼式には必要な後段でのフッ素分の処理が不要です。
 反応器は安全、容易に交換できます。
 
 
 
③ 余剰麻酔ガス除害装置

【 対 象 】
 病院で使用されている笑気ガス、揮発性麻酔薬の処理

 笑気ガス(亜酸化窒素)、揮発性麻酔薬(セボフルラン、イソフルラン)は温暖化ガスです。
 笑気ガスは窒素と酸素に分解、揮発性麻酔薬は特殊な吸着剤で吸着、回収します。
 排出される余剰麻酔ガスにいつでも対応でき、瞬時に処理が可能です。

 
 
 
PFC除害装置   麻酔ガス除害装置   酸性ガス除害装置   オゾン分解装置
 
 
 

製品及びメンテナンス体制

 
本社及び熊本テクニカルセンターを拠点として設けており、主要部品及び反応器、配管等の製作から装置のシステム、制御プログラムの作成、組立、検査、試運転まで一括して行います。定期的な点検を行い、突発的なトラブルを未然に防止することでメンテナンス費用が削減できます。